Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного либо плазменного источника выполняют учёные Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ.

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по связи
В.С. Верба, К.Ю. Гаврилов, А.Р. Ильчук, Б.Г. Татарский, А.А. Филатов
Другие серии книг:
Мир связи
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир материалов и технологий
Мир электроники
Мир программирования
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Новости
МИЭТ совместно с ГК «Микрон» и Зеленоградским нанотехнологическим центром разработают оборудование для производства микросхем 28 нм
Просмотры: 1372
17.05.2022
Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного либо плазменного источника выполняют учёные Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ.


В случае успеха исследования в России появится уникальное оборудование для производства микросхем топологического уровня 28 нм и меньше. В сентябре 2021 года МИЭТ получил грант Минобрнауки на реализацию проекта в области синхротронных исследований, сообщает сайт университета.

Основной задачей исследователей станет проверка основных технологических решений в области безмасочной рентгеновской нанолитографии. На основе полученных результатов будет разработан технический облик будущей литографической установки, выработаны и обоснованы параметры её ключевых узлов: источника рентгеновского излучения, оптической системы (включая МЭМС динамической маски), вакуумной системы, системы совмещения и позиционирования.

Создание технологии и оборудования на базе действующих и запускаемых в стране синхротронов, в частности, на синхротроне ТНК «Зеленоград», НИЦ «Курчатовский институт», а также на базе отечественных плазменных источников, позволит обрабатывать полупроводниковые пластины с проектными нормами 28 нм, 16 нм и ниже.

Отечественные и мировые аналоги подобного оборудования и самой технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии на сегодняшний день отсутствуют.

Это поисковый аванпроект, в ходе которого проверяется сама возможность переноса изображения при помощи МЭМС динамической маски. Мы должны показать, что система работает надёжно, пройдет все испытания и метрологические тесты. Если эта работа завершится успешно, за ним последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки.доктор технических наук, профессор, проректор по научной работе МИЭТ Гаврилов Сергей Александрович.

В команде проекта – около 50 сотрудников МИЭТа и ЦКП «МСТ и ЭКБ», в том числе молодые кандидаты наук и аспиранты. В тесной кооперации с МИЭТом над проектом работают завод «Микрон» и Зеленоградский нанотехнологический центр – их производственные возможности будут использованы для изготовления образцов МЭМС динамической маски. В Институте физики микроструктур РАН (ныне филиал Института прикладной физики РАН, Нижний Новгород) и зеленоградском АО «НПП «ЭСТО» конструируют оптическую вакуумную систему с зеркальной оптикой и элементы системы позиционирования. Для испытаний будет использован источник плазмы, разработанный в Институте спектроскопии (ИСАН) РАН (Троицк).

Проект реализуется до конца 2022 года по заказу Министерства промышленности и торговли Российской Федерации в рамках государственной программы «Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности».
 
 Комментарии читателей
Разработка: студия Green Art