eng
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
Просмотры: 1753
28.12.2022
Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции.
Собственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создавать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники.
Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.
«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных – фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», – сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.
На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления.
Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии предложили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – не менее 12 месяцев.
«Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», – рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.
НПП «Салют» в составе «Росэлектроники» занимается разработкой и изготовлением сверхвысокочастотной аппаратуры.
«Росэлектроника» является национальным вендором по электронике. Образована в 1997 году, в 2009 году вошла в состав Госкорпорации Ростех. Головной структурой является АО «Объединенная приборостроительная корпорация». В состав холдинга входят крупнейшие концерны радиоэлектронной промышленности страны – «Созвездие», «Вега», «Автоматика», «Системы управления», а также Национальный Центр Информатизации (НЦИ). Холдинг формирует более 50% выпуска электронных компонентов в России, 8% выпуска продукции радиоэлектронной отрасли в целом и обеспечивает более 10% рабочих мест отрасли. Всего холдинг объединяет более 140 предприятий и научных организаций, специализирующихся на разработке и производстве радиоэлектронных компонентов и технологий, средств и систем связи, автоматизированных систем управления, робототехнических комплексов, СВЧ-электроники, вычислительной техники и телекоммуникационного оборудования. Общая численность сотрудников – более 70 тысяч человек. Продукция холдинга поставляется более чем в 30 стран мира, в том числе страны Европы, Юго-Восточной Азии, Ближнего Востока, Африки и Латинской Америки.
Госкорпорация Ростех – крупнейшая промышленная компания России. В 2022 году отмечает 15 лет со дня основания. Объединяет порядка 800 научных и производственных организаций в 60 регионах страны. Ключевые направления деятельности – авиастроение, радиоэлектроника, медицинские технологии, инновационные материалы и др. Продукция корпорации поставляется более чем в 100 стран мира. Почти треть выручки компании обеспечивает экспорт высокотехнологичной продукции.
Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.
«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных – фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», – сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.
На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления.
Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии предложили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – не менее 12 месяцев.
«Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», – рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.
НПП «Салют» в составе «Росэлектроники» занимается разработкой и изготовлением сверхвысокочастотной аппаратуры.
«Росэлектроника» является национальным вендором по электронике. Образована в 1997 году, в 2009 году вошла в состав Госкорпорации Ростех. Головной структурой является АО «Объединенная приборостроительная корпорация». В состав холдинга входят крупнейшие концерны радиоэлектронной промышленности страны – «Созвездие», «Вега», «Автоматика», «Системы управления», а также Национальный Центр Информатизации (НЦИ). Холдинг формирует более 50% выпуска электронных компонентов в России, 8% выпуска продукции радиоэлектронной отрасли в целом и обеспечивает более 10% рабочих мест отрасли. Всего холдинг объединяет более 140 предприятий и научных организаций, специализирующихся на разработке и производстве радиоэлектронных компонентов и технологий, средств и систем связи, автоматизированных систем управления, робототехнических комплексов, СВЧ-электроники, вычислительной техники и телекоммуникационного оборудования. Общая численность сотрудников – более 70 тысяч человек. Продукция холдинга поставляется более чем в 30 стран мира, в том числе страны Европы, Юго-Восточной Азии, Ближнего Востока, Африки и Латинской Америки.
Госкорпорация Ростех – крупнейшая промышленная компания России. В 2022 году отмечает 15 лет со дня основания. Объединяет порядка 800 научных и производственных организаций в 60 регионах страны. Ключевые направления деятельности – авиастроение, радиоэлектроника, медицинские технологии, инновационные материалы и др. Продукция корпорации поставляется более чем в 100 стран мира. Почти треть выручки компании обеспечивает экспорт высокотехнологичной продукции.
Комментарии читателей
